產(chǎn)品型號(hào)：HTM系列
發(fā)布時(shí)間：2023-9-1 17:00:43
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◆電動(dòng)Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過使用專用的控制器簡(jiǎn)化了的垂直移動(dòng)操作。
◆新款測(cè)量顯微鏡可配備一個(gè)新型輔助對(duì)焦機(jī)構(gòu)，以提供更清晰和更的對(duì)焦。相比以前型號(hào)，高精度Z軸測(cè)量更簡(jiǎn)便。
◆得益于各種電動(dòng)控制以及人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，極大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的載物臺(tái)，操作起來(lái)也十分得心應(yīng)手。
◆X、Y和Z軸的較小單位可以在 0.1 μm和0.5μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
◆使用數(shù)碼相機(jī)和 M- Inspect 測(cè)量軟件進(jìn)行數(shù)字圖像拍攝可通過的自動(dòng)邊緣檢測(cè)進(jìn)行速測(cè)量。
●操作便捷
集中化顯微鏡操作，調(diào)焦手輪、速度控制、遙控開關(guān)均可實(shí)現(xiàn)單手盲操作，實(shí)現(xiàn)大試樣高精度快速測(cè)量。
●電動(dòng)Z軸調(diào)焦
使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。
●穩(wěn)固的機(jī)械機(jī)構(gòu)
充分考慮工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)置減震機(jī)構(gòu)，保證了高水平的重復(fù)性精度。
●高度靈活
模塊化的硬件、功能強(qiáng)大的軟件方案，自由搭配成像光路、載物臺(tái)、FA聚焦導(dǎo)航、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、晶圓轉(zhuǎn)盤等。
●高密度拼接
使用高密度拼接功能、多幅圖像可以拼接擴(kuò)展為一幅大視野全景圖像
電動(dòng)測(cè)量顯微鏡HTM系列配置參數(shù)
型號(hào) | HTM150D | HTM200D | HTM300D | HTM400D | |
圖像 | 正像/反像 | ||||
觀察方法 | 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉觀察 | ||||
目鏡 | 屈光度可調(diào)10X（視場(chǎng)數(shù)：22mm) | ||||
物鏡 | 平場(chǎng)消色差/平場(chǎng)半復(fù)消色差系列鏡頭 | ||||
調(diào)焦系統(tǒng) | 最大被測(cè)物高度 | 200mm | |||
電動(dòng)調(diào)焦參數(shù) | 微調(diào)：50μm、100μm、400μm/圈可選 點(diǎn)動(dòng)：100μm /步 粗調(diào)：10mm/秒 | ||||
調(diào)焦精度 | 最小步距 | 0.1μm | |||
測(cè)量重復(fù)性 | ±1μm | ||||
照明裝置 | 透射照明 | 遠(yuǎn)心照明、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源 | |||
反射照明 | 科勒照明、可調(diào)孔徑光闌、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源 | ||||
輔助照明 | FA輔助聚焦、LED環(huán)型光源、光纖冷光源 | ||||
載物臺(tái) | 測(cè)量范圍 | 200*150mm | 300*200mm | 300*300mm | 400*300mm |
金屬臺(tái)尺寸 | 400*280mm | 500*350mm | 500*450mm | 600*450mm | |
玻璃尺寸 | 245*192mm | 350*250mm | 350*350mm | 450*350mm | |
快速釋放裝置 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 | ||||
遙控開關(guān) | RESET（復(fù)位）與SEND（發(fā)送）按鈕位于X手輪附近 | ||||
數(shù)字計(jì)數(shù)器 | 最小讀數(shù) | 可在0.5/0.1μm選擇 | |||
功能 | 調(diào)零、分中、方向轉(zhuǎn)換、公英制轉(zhuǎn)換、RS232輸出 | ||||
測(cè)量精度 | （3+0.02L）μmL為測(cè)量長(zhǎng)度 | ||||
功耗 | 230W、85～240VAC 50/60HZ | ||||
主機(jī) | 外型尺寸 | 659*660*744mm | 659*710*744mm | 659*660*744mm | 659*710*744mm |
重量 | 80KG | 110KG | 160KG | 175KG | |
