精密測(cè)量顯微鏡MS系列，為實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的測(cè)量功能而研制，擁有值得信賴的品質(zhì)和技術(shù)
精密測(cè)量顯微鏡MS系列結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力和影像測(cè)量?jī)x的X、Y、Z 軸表面尺寸測(cè)量功能，具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測(cè)。
●仰角可調(diào)觀察筒
觀察筒角度可在3-35度范圍內(nèi)任意調(diào)整。無論是站立或坐著，都能較大限度滿足用戶的操作需求，同時(shí)也無需擔(dān)憂用戶的身高差異。
●大行程載物臺(tái)
有多種行程的載物臺(tái)可供選擇:
MS210A平臺(tái)行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,
MS320A平臺(tái)行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,
MS330A平臺(tái)行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,
MS430A平臺(tái)行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,
不管是大樣品還是小樣品，都能滿足用戶的測(cè)量需求。若用戶有別的需求，也可按需求定制平臺(tái)。
●精密測(cè)量工具
MS系列測(cè)量顯微鏡采用0.1μm讀數(shù)的3軸測(cè)量系統(tǒng)，Z軸zui大行程可至170mm，利用集成在機(jī)架上的高精度電動(dòng)控制Z軸。三檔不同調(diào)速可供選擇，調(diào)焦可操作性強(qiáng)，提供效率，降低疲勞。
●獨(dú)立裂像光源輔助對(duì)焦
可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié)，清晰準(zhǔn)確顯示zui佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換。
●功能高度集成的一體式設(shè)計(jì)
一體式工作桌，既預(yù)留了臺(tái)式主機(jī)的位置，又帶有可收起的鍵盤抽屜，整體外觀整潔、舒服。各類可操作部位觸手可及，操作輕松方便。符合人體工程學(xué)，使用者無需站立，便可輕松實(shí)行操作。
●自主研發(fā)測(cè)量軟件
MS系列測(cè)量顯微鏡配備了操作簡(jiǎn)單，功能強(qiáng)大的測(cè)量軟件，客戶可根據(jù)需要設(shè)置測(cè)試偏好。軟件附帶了各類手動(dòng)取點(diǎn)與自動(dòng)取點(diǎn)的測(cè)量功能，適用范圍更廣，即使對(duì)復(fù)雜的形狀，也可以進(jìn)行高精度的測(cè)量。
●精密測(cè)量顯微鏡MS系列應(yīng)用領(lǐng)域
精密測(cè)量顯微鏡MS系列配置參數(shù)
型號(hào) | MS210A | MS320A | MS330A | MS430A |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | |||
觀察頭 | 5°~35°傾角可調(diào)，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50mm~76mm；兩檔式分光比：100:0,0:100 | |||
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,可視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺 | |||
轉(zhuǎn)換器 | 六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) | |||
物鏡 | 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡5X、10X、 20X、 50X、 100x | |||
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡5X、10X、 20X | ||||
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X、100X | ||||
放大倍率 | 光學(xué)放大倍率: 50X-1000X；系統(tǒng)放大倍率：135X~2700X | |||
測(cè)量顯微鏡主體 | 手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)，行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y測(cè)量精度;(2+L/100) um,平臺(tái)包含快速移動(dòng)裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:10KG，帶z軸電動(dòng)調(diào)焦，電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, 最大行程170mm，Z軸重復(fù)定位精度±2um; | 手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)，行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY測(cè)量精度;(3+L/100) um,平臺(tái)包含快速移動(dòng)裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:15KG，帶z軸電動(dòng)調(diào)焦，電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm,最大行程160mm， Z軸重復(fù)定位精度±2um; | 手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)，行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY測(cè)量精度;(3+L/100) um,平臺(tái)包含快速移動(dòng)裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:20KG，帶z軸電動(dòng)調(diào)焦，電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復(fù)定位精度±2um; | 手動(dòng)測(cè)量平臺(tái)，行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY測(cè)量精度;(3+L/100) um,平臺(tái)包含快速移動(dòng)裝置及微調(diào)裝置，最大承載重量:20KG，帶z軸電動(dòng)調(diào)焦，電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復(fù)定位精度±2um; |
照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶明、暗場(chǎng)照明器切換裝置，普濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶5W LED燈源，亮度均可調(diào) | |||
輔助對(duì)焦模塊，帶明、暗光楔模切換裝置，帶綠光5W LED燈源(含100V-240V寬電壓, 5W LED控制器， | ||||
調(diào)焦方式 | 電動(dòng)控制器，帶自動(dòng)/手動(dòng)乙軸調(diào)焦，獨(dú)立控制上/下/輔助對(duì)焦三種光源，支持亮度可調(diào)，包含x/y/z單獨(dú)清零及一健清零，電動(dòng)控制轉(zhuǎn)換器，配置乙軸運(yùn)動(dòng)急停按鍵 | |||
相機(jī) | 德國(guó)進(jìn)口的映美精相機(jī)，靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200（1.9MP）, 幀速率: 20fps, 300萬像素 | |||
攝影攝像接口 | 0.5X/0.65X CTV，采用C型接口，可調(diào)焦 | |||
PC | 聯(lián)想電腦揚(yáng)天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸 | |||
軟件 | 舜宇MS精密測(cè)量軟件，實(shí)時(shí)顯示數(shù)顯表三坐標(biāo)數(shù)據(jù)，配置圖像測(cè)量模塊， 支持自動(dòng)尋邊，倍事自動(dòng)識(shí)別等功能， 定制化終端數(shù)據(jù)上傳功能 | |||
其他附件 | 起偏境插板，360旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測(cè)微尺；DIC組件；標(biāo)定片 | |||
