產(chǎn)品型號:AWL046/AWL068/AWL812
發(fā)布時間:2020-12-3 11:16:28
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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合在前道到后道工程的晶圓檢查。
目前,AWL系列晶圓搬運機擁有AWL046、AWL068,AWL812三種種機型,分別可適用于 4/6 英寸晶圓檢測,6/8 英寸晶圓檢測,8/12英寸晶圓檢測,其適應(yīng)范圍廣,且搭配靈活 ,可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機工程學(xué)設(shè)計,操作舒適、簡便。
AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)優(yōu)勢
●360°宏觀檢查
AWL 系列晶圓檢查系統(tǒng)具有宏觀檢查手臂,可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1的360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度≤70°,晶背1傾斜角度≤90°,晶背2傾斜角度≤160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜 角度,完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
●人機工程學(xué)設(shè)計
晶圓檢查系統(tǒng)的LCD顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。
晶圓檢查系統(tǒng)的手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。
晶圓缺陷檢查應(yīng)用案例
AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸(SEMI 規(guī)格) | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓最小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放式片盒(SEMI Stad.25(26)-slot) | ||
片盒數(shù)量 | 1 Port | ||
檢查模式設(shè)置 | 全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動選擇 | ||
片盒內(nèi)晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預(yù)定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平邊 /V 型槽,支持 0°、90°、180°、270°朝向設(shè)置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同 軸調(diào)節(jié) ;晶圓承片臺,可 360°旋轉(zhuǎn) ;移動行程228mm(X 方 向 )×170mm(Y 方 向 ) 觀 察 范 圍 : | 8 英寸四層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同 軸調(diào)節(jié) ;晶圓承片臺,可 360°旋轉(zhuǎn) , 移動行程280mm(X 方向)×210mm(Y 方向)觀察范圍 : | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA |
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