產(chǎn)品型號(hào)：AL120-L8/AL120-L86/AL120-L6
發(fā)布時(shí)間：2020-12-3 10:51:25
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8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，也可以安全有效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特點(diǎn)
●適應(yīng)范圍廣、搭配靈活，8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)具有高度實(shí)用性和高度可靠性。
●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)傳輸各種尺寸的硅片
基于硅片的尺寸，AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。
●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以傳輸超薄的硅片，即薄至90um
為了應(yīng)對(duì)更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特殊設(shè)計(jì)了傳輸手臂，可以應(yīng)對(duì)25片裝的200mm的片盒以及薄至90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查。可通過面板預(yù)設(shè)多達(dá)10種不同厚度的硅片信息。
●精密的能力，增強(qiáng)宏觀檢查的功能
新款的具備宏觀檢查功能的機(jī)臺(tái)（LMB型）具有360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)而完成硅片的每面宏觀檢查。這一設(shè)計(jì)可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查。
●LCD顯示屏提供精度和操作方便性
LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受，使得奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)檢查項(xiàng)目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然。檢查結(jié)果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號(hào)一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。
●精密的可靠性
對(duì)于硅片的安全性，AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)采用新的兩種硅片檢測(cè)方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購(gòu)的載物臺(tái)自動(dòng)鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺(tái)的安全性。
●強(qiáng)大和可靠的顯微鏡
奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，與顯微鏡主機(jī)的孔徑光瀾具有聯(lián)動(dòng)功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會(huì)自動(dòng)變換。
●符合SEMI S2/S8 和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)設(shè)計(jì)不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，完全符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm | |
卡盒數(shù) | 單盒（裝載、卸載兼用） | |
卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運(yùn)順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中心環(huán) | |
晶圓搬運(yùn)方式 | 真空吸附機(jī)械搬運(yùn) | |
適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | |
應(yīng)用環(huán)境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
載物臺(tái) | XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | |
重量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
