有助于較大程度降低操作人員水平差距的分析功能

1、簡單分析。簡單分析功能可僅在指定測量范圍內(nèi)測量臺階、線寬、表面粗糙度和體積。自動檢測測量結(jié)果變動的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測量結(jié)果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。

測量兩個指定區(qū)域之間的臺階高差和距離

通過自動檢測指定區(qū)域的邊緣測量寬度

測量指定區(qū)域的表面粗糙度

測量指定區(qū)域的體積

測量兩個指定區(qū)域之間的角度差

基于指定區(qū)域中的圓形自動識別測量半徑 R 和距離基準平面的高度

2、自動校正。某些激光顯微鏡需要對所獲取的數(shù)據(jù)進行諸如 噪聲消除和傾斜校正等預(yù)處理，因此拖慢了掃描時間，并增加了對操作者技能水平的依賴性。 選用3D測量激光顯微鏡OLS5000，輕松點擊一下即可執(zhí)行保留準確數(shù)據(jù)情況下的測量噪音自動消除（智能判別）處理，以及自動檢測高度零位（智能調(diào)平） 主水平面（參考平面）的處理。無需復(fù)雜的設(shè)置， 因此操作人員的技能和經(jīng)驗水平對結(jié)果影響非常小。

3、輪廓測量。輪廓測量功能通過在圖像上的待測量位置任意 繪制測量線的方式顯示表面輪廓。其還可測量任意兩點之間的距離、寬度、橫截面積和半徑R。與接觸式測量工具不同的是，設(shè)定測量位置非常簡單。 測量線和點可在圖像上標(biāo)記，因此即便極小的區(qū)域也能夠進行準確測量。

4、輪廓輔助工具。可通過指定特定部位區(qū)域的最大/最小值點、兩條線的交點、圓柱體中心或球體中心確定所需的測量線。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定一個位置時，可根據(jù)指定條件自動提取特征點，從而減少與操作員相關(guān)的測量變動。

5、測量輔助工具。需要測量的點可使用最高值點、最低值點、中間值點、和/或平均值點進行準確指定。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定一個位置時，可根據(jù)指定條件自動提取特征點。

綜合分析及報告功能

1、線粗糙度測量，ISO4287 合規(guī)。接觸式表面粗糙度儀由于難以將觸針放在極小的位置上，因此無法準確測量管或線上的目標(biāo)位置。3D測量激光顯微鏡OLS5000可讓操作員從表面獲取數(shù)據(jù)之后再確定測量線，由此輕松完成細小目標(biāo)的線粗糙度測量。

2、面粗糙度測量，ISO25178 合規(guī)。3D測量激光顯微鏡OLS5000使用直徑0.4μm的激光束掃描樣品表面，這讓其能夠輕松測量接觸式表面粗糙度儀無法測量的樣品表面粗糙度。 這種同時獲取接觸式表面粗糙度儀無法測量表面彩色圖像、激光圖像和3D形狀數(shù)據(jù)的能力實現(xiàn)了分析范圍的擴展。

3、平面內(nèi)測量?？稍趫D像上進行各種測量- 其中包括兩點之間的距離、 兩條線形成的角度以及指定位置的面積。另外還提供自動邊緣檢測功能，無論操作人員技術(shù)如何都可以實現(xiàn)準確的位置設(shè)定。

4、臺階高度測量。在所采集的數(shù)據(jù)中指定作為比較目標(biāo)使用的高度參考部位和測量部位可讓您能夠量化參考部位和測量部位之間的最大值、最小值和平均 臺階差值。指定部位可保存供以后加載使用，這讓該功能非常適合重復(fù)性測量。

5、差值測量。包括準許/不準許判別、磨損前后的形狀（高度）差異、表面積和體積在內(nèi)的差異均可通過目測確定并進行量化。僅需簡單的點擊操作即可自動完成水平方向數(shù)據(jù)（XYZθ）和角度調(diào)整數(shù)據(jù)之間的定位校準，從而為表面形狀差異的有效分析提供輔 助。

6、面積/體積測量。具有不規(guī)則表面形貌的部位的面積和體積可通過在采集圖像內(nèi)設(shè)置參考高度平面進行測量。也可根據(jù)樣品形狀自動檢測參考平面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)具有表面不規(guī)則性的多個部位時，各部位的體 積、面積、表面積以及距離參考平面高度均可進行測量。

7、直方圖分析。直方圖代表所獲取的高度數(shù)據(jù)或顏色或激光強度的分布，可用于臺階和面積測量。另外也可提供模式、半值寬度和3σ、以及自動直方圖峰值檢測等諸多統(tǒng)計量的輸出。 比如微透鏡陣列等樣品具有周期重復(fù)形狀時，其半徑、殘余誤 差和表面角度均可進行測量。通過將特征部分指定為感興趣的部位，可自動提取所獲取數(shù)據(jù)中的所有相同特征部分并輸出測 量結(jié)果。

8、球體/圓柱體/表面角度分析。如微透鏡陣列等樣品具有周期重復(fù)形狀時，其半徑、殘余誤差和表面角度均可進行測量。通過將特征部分指定為感興趣的部位，可自動提取所獲取數(shù)據(jù)中的所有相同特征部分并輸出測量結(jié)果。

9、自動邊緣測量。半導(dǎo)體芯片上規(guī)則圖案的寬度和高度可根據(jù)規(guī)定的檢測條件進行測量。根據(jù)樣品特征，可對彩色圖像、激光圖像和3D形狀數(shù)據(jù)應(yīng)用各種設(shè)置。該功能對于重復(fù)進行的樣品測量非常有 用。

10、顆粒物分析?？稍谒@取數(shù)據(jù)中自動檢測顆粒物?？蓽y量直徑、重心、卡尺直徑以及每個顆粒的圓度。結(jié)果以直方圖形式輸出。

11、薄膜厚度測量 ?？梢詼y量透明體的薄膜厚度和界面高度。多層模式有助于分析透明薄膜的3D延伸、結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系。斷層模式可將光檢測強度轉(zhuǎn)換為圖像，該模式在分析具有極低反射強度界面時特別有用。

12、多文件分析。多個所獲取的數(shù)據(jù)項目可在顯示標(biāo)尺和3D顯示角度的情況下

并排顯示。圖像校正和分析可同時進行。該功能可用于對不同處理條件的多個樣品進行分析，也可用于缺陷分析。

13、奧林巴斯Stream?軟件。奧林巴斯Stream工業(yè)圖像分析軟件（選配）適用于高度專業(yè)化的應(yīng)用。使用3D測量激光顯微鏡OLS5000獲取的數(shù)據(jù)可通過奧林巴斯Stream軟件輕松進行顯示和分析。

14、報告輸出。分析結(jié)果報告可自定義為用戶偏好的輸出格式。 除可編輯的LEXT專有格式外，數(shù)據(jù)也可導(dǎo)出為Excel?、PDF或RTF格式。

15、圖像處理歷史?？娠@示所獲取數(shù)據(jù)的圖像處理歷史，從而實現(xiàn)多次撤消和重做操作。在確認圖像處理流程用于其它數(shù)據(jù)時，或者確認處理流程適合其他所采集數(shù)據(jù)時，該功能非常方便

16、CAD數(shù)據(jù)輸出。所獲取的數(shù)據(jù)能夠以STL格式（網(wǎng)格數(shù)據(jù)）輸出并可加載到 CAD應(yīng)用程序中。利用市場上可購買的CAD查看軟件能夠輔助實現(xiàn)設(shè)計數(shù)據(jù)與STL數(shù)據(jù)之間差異的可視化和量化。

自動化功能

1、分析模板功能。報告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。在重復(fù)進行相同測量時，使用此模板可對下一組數(shù)據(jù)采用同一流程進行分析和出報告。無需操作人員干預(yù)即可指定流程操作和測量點的功能，以最小差異進行快速、精確的分析。

2、自動定位校準。所采集數(shù)據(jù)的自動 XYZθ 調(diào)整可通過預(yù)注冊參考樣品的特征部位實現(xiàn)。該功能在使用分析模板重復(fù)檢查相同樣品時非常有用。

3、定位對齊功能。在連續(xù)檢測具有相似形狀的樣品時，定位對齊功能可將電動載物臺的坐標(biāo)系設(shè)定與樣品匹配，從而實現(xiàn)更高效率的檢測。 該功能可讓您只需將樣品放在載物臺上即可獲得所有后續(xù)樣品相同位置的相同數(shù)據(jù)。

4、多區(qū)域數(shù)據(jù)采集。通過利用宏編譯工具創(chuàng)建和編輯宏，可實現(xiàn)從數(shù)據(jù)采集到測量及報告等常規(guī)檢測流程的自動執(zhí)行。之后，操作員所需做的僅為調(diào)用和執(zhí)行現(xiàn)有的宏文件，從而通過一次點擊即可獲得穩(wěn)定的測量結(jié)果。

5、宏功能。從數(shù)據(jù)采集、測量到報告創(chuàng)建的檢測工作流程均可實現(xiàn)自動化?？衫煤晟晒ぞ咻p松創(chuàng)建或編輯檢測流程。操作人員通過運行已經(jīng)注冊的宏文件，僅需簡單的點擊即可獲得可靠的測量結(jié)果。

6、支持五種語言的應(yīng)用。應(yīng)用程序支持中文、英文、日文、德文和韓文五種語言。多語言的使用手冊可讓本地操作人員也可輕松使用該系統(tǒng)。

7、用戶帳戶功能。每位操作員均可使用自己的帳戶登錄到應(yīng)用程序，并使用經(jīng)過自定義的操作環(huán)境。用戶ID將記錄在報告以及所采集的數(shù)據(jù)中，由此可輕松識別該數(shù)據(jù)是由何人以及何時創(chuàng)建或獲取的。管理員還可根據(jù)需要為每位操作員分配相應(yīng)操作權(quán)限范圍及功能。

可檢測多種樣品

1、擴展架。載物臺上可放置最大高度210毫米的樣品。重復(fù)性和準確性等測量性能均確保與標(biāo)準機臺相同。

2、多種物鏡均可兼容。有十五種物鏡可供選擇，包括針對405納米波長設(shè)計的多個LEXT專用物鏡，從而讓客戶能夠選出滿足需求和應(yīng)用的一款。透鏡也可在客戶地點進行切換。

3、專用LEXT?低倍率及長工作距離物鏡。我們的專用LEXT物鏡系列近期新增了提升測量性能的長工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡。所有專用LEXT物鏡的測量0性能均可獲得保證。