有助于較大程度降低操作人員水平差距的分析功能

1、簡(jiǎn)單分析。簡(jiǎn)單分析功能可僅在指定測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量臺(tái)階、線寬、表面粗糙度和體積。自動(dòng)檢測(cè)測(cè)量結(jié)果變動(dòng)的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測(cè)量結(jié)果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。

測(cè)量?jī)蓚€(gè)指定區(qū)域之間的臺(tái)階高差和距離

通過自動(dòng)檢測(cè)指定區(qū)域的邊緣測(cè)量寬度

測(cè)量指定區(qū)域的表面粗糙度

測(cè)量指定區(qū)域的體積

測(cè)量?jī)蓚€(gè)指定區(qū)域之間的角度差

基于指定區(qū)域中的圓形自動(dòng)識(shí)別測(cè)量半徑 R 和距離基準(zhǔn)平面的高度

2、自動(dòng)校正。某些激光顯微鏡需要對(duì)所獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行諸如 噪聲消除和傾斜校正等預(yù)處理，因此拖慢了掃描時(shí)間，并增加了對(duì)操作者技能水平的依賴性。 選用3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000，輕松點(diǎn)擊一下即可執(zhí)行保留準(zhǔn)確數(shù)據(jù)情況下的測(cè)量噪音自動(dòng)消除（智能判別）處理，以及自動(dòng)檢測(cè)高度零位（智能調(diào)平） 主水平面（參考平面）的處理。無需復(fù)雜的設(shè)置， 因此操作人員的技能和經(jīng)驗(yàn)水平對(duì)結(jié)果影響非常小。

3、輪廓測(cè)量。輪廓測(cè)量功能通過在圖像上的待測(cè)量位置任意 繪制測(cè)量線的方式顯示表面輪廓。其還可測(cè)量任意兩點(diǎn)之間的距離、寬度、橫截面積和半徑R。與接觸式測(cè)量工具不同的是，設(shè)定測(cè)量位置非常簡(jiǎn)單。 測(cè)量線和點(diǎn)可在圖像上標(biāo)記，因此即便極小的區(qū)域也能夠進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。

4、輪廓輔助工具?？赏ㄟ^指定特定部位區(qū)域的最大/最小值點(diǎn)、兩條線的交點(diǎn)、圓柱體中心或球體中心確定所需的測(cè)量線。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定一個(gè)位置時(shí)，可根據(jù)指定條件自動(dòng)提取特征點(diǎn)，從而減少與操作員相關(guān)的測(cè)量變動(dòng)。

5、測(cè)量輔助工具。需要測(cè)量的點(diǎn)可使用最高值點(diǎn)、最低值點(diǎn)、中間值點(diǎn)、和/或平均值點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確指定。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定一個(gè)位置時(shí)，可根據(jù)指定條件自動(dòng)提取特征點(diǎn)。

綜合分析及報(bào)告功能

1、線粗糙度測(cè)量，ISO4287 合規(guī)。接觸式表面粗糙度儀由于難以將觸針放在極小的位置上，因此無法準(zhǔn)確測(cè)量管或線上的目標(biāo)位置。3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000可讓操作員從表面獲取數(shù)據(jù)之后再確定測(cè)量線，由此輕松完成細(xì)小目標(biāo)的線粗糙度測(cè)量。

2、面粗糙度測(cè)量，ISO25178 合規(guī)。3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000使用直徑0.4μm的激光束掃描樣品表面，這讓其能夠輕松測(cè)量接觸式表面粗糙度儀無法測(cè)量的樣品表面粗糙度。 這種同時(shí)獲取接觸式表面粗糙度儀無法測(cè)量表面彩色圖像、激光圖像和3D形狀數(shù)據(jù)的能力實(shí)現(xiàn)了分析范圍的擴(kuò)展。

3、平面內(nèi)測(cè)量?？稍趫D像上進(jìn)行各種測(cè)量- 其中包括兩點(diǎn)之間的距離、 兩條線形成的角度以及指定位置的面積。另外還提供自動(dòng)邊緣檢測(cè)功能，無論操作人員技術(shù)如何都可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的位置設(shè)定。

4、臺(tái)階高度測(cè)量。在所采集的數(shù)據(jù)中指定作為比較目標(biāo)使用的高度參考部位和測(cè)量部位可讓您能夠量化參考部位和測(cè)量部位之間的最大值、最小值和平均 臺(tái)階差值。指定部位可保存供以后加載使用，這讓該功能非常適合重復(fù)性測(cè)量。

5、差值測(cè)量。包括準(zhǔn)許/不準(zhǔn)許判別、磨損前后的形狀（高度）差異、表面積和體積在內(nèi)的差異均可通過目測(cè)確定并進(jìn)行量化。僅需簡(jiǎn)單的點(diǎn)擊操作即可自動(dòng)完成水平方向數(shù)據(jù)（XYZθ）和角度調(diào)整數(shù)據(jù)之間的定位校準(zhǔn)，從而為表面形狀差異的有效分析提供輔 助。

6、面積/體積測(cè)量。具有不規(guī)則表面形貌的部位的面積和體積可通過在采集圖像內(nèi)設(shè)置參考高度平面進(jìn)行測(cè)量。也可根據(jù)樣品形狀自動(dòng)檢測(cè)參考平面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)具有表面不規(guī)則性的多個(gè)部位時(shí)，各部位的體 積、面積、表面積以及距離參考平面高度均可進(jìn)行測(cè)量。

7、直方圖分析。直方圖代表所獲取的高度數(shù)據(jù)或顏色或激光強(qiáng)度的分布，可用于臺(tái)階和面積測(cè)量。另外也可提供模式、半值寬度和3σ、以及自動(dòng)直方圖峰值檢測(cè)等諸多統(tǒng)計(jì)量的輸出。 比如微透鏡陣列等樣品具有周期重復(fù)形狀時(shí)，其半徑、殘余誤 差和表面角度均可進(jìn)行測(cè)量。通過將特征部分指定為感興趣的部位，可自動(dòng)提取所獲取數(shù)據(jù)中的所有相同特征部分并輸出測(cè) 量結(jié)果。

8、球體/圓柱體/表面角度分析。如微透鏡陣列等樣品具有周期重復(fù)形狀時(shí)，其半徑、殘余誤差和表面角度均可進(jìn)行測(cè)量。通過將特征部分指定為感興趣的部位，可自動(dòng)提取所獲取數(shù)據(jù)中的所有相同特征部分并輸出測(cè)量結(jié)果。

9、自動(dòng)邊緣測(cè)量。半導(dǎo)體芯片上規(guī)則圖案的寬度和高度可根據(jù)規(guī)定的檢測(cè)條件進(jìn)行測(cè)量。根據(jù)樣品特征，可對(duì)彩色圖像、激光圖像和3D形狀數(shù)據(jù)應(yīng)用各種設(shè)置。該功能對(duì)于重復(fù)進(jìn)行的樣品測(cè)量非常有 用。

10、顆粒物分析。可在所獲取數(shù)據(jù)中自動(dòng)檢測(cè)顆粒物?？蓽y(cè)量直徑、重心、卡尺直徑以及每個(gè)顆粒的圓度。結(jié)果以直方圖形式輸出。

11、薄膜厚度測(cè)量 。可以測(cè)量透明體的薄膜厚度和界面高度。多層模式有助于分析透明薄膜的3D延伸、結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系。斷層模式可將光檢測(cè)強(qiáng)度轉(zhuǎn)換為圖像，該模式在分析具有極低反射強(qiáng)度界面時(shí)特別有用。

12、多文件分析。多個(gè)所獲取的數(shù)據(jù)項(xiàng)目可在顯示標(biāo)尺和3D顯示角度的情況下

并排顯示。圖像校正和分析可同時(shí)進(jìn)行。該功能可用于對(duì)不同處理?xiàng)l件的多個(gè)樣品進(jìn)行分析，也可用于缺陷分析。

13、奧林巴斯Stream?軟件。奧林巴斯Stream工業(yè)圖像分析軟件（選配）適用于高度專業(yè)化的應(yīng)用。使用3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000獲取的數(shù)據(jù)可通過奧林巴斯Stream軟件輕松進(jìn)行顯示和分析。

14、報(bào)告輸出。分析結(jié)果報(bào)告可自定義為用戶偏好的輸出格式。 除可編輯的LEXT專有格式外，數(shù)據(jù)也可導(dǎo)出為Excel?、PDF或RTF格式。

15、圖像處理歷史。可顯示所獲取數(shù)據(jù)的圖像處理歷史，從而實(shí)現(xiàn)多次撤消和重做操作。在確認(rèn)圖像處理流程用于其它數(shù)據(jù)時(shí)，或者確認(rèn)處理流程適合其他所采集數(shù)據(jù)時(shí)，該功能非常方便

16、CAD數(shù)據(jù)輸出。所獲取的數(shù)據(jù)能夠以STL格式（網(wǎng)格數(shù)據(jù)）輸出并可加載到 CAD應(yīng)用程序中。利用市場(chǎng)上可購買的CAD查看軟件能夠輔助實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)與STL數(shù)據(jù)之間差異的可視化和量化。

自動(dòng)化功能

1、分析模板功能。報(bào)告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。在重復(fù)進(jìn)行相同測(cè)量時(shí)，使用此模板可對(duì)下一組數(shù)據(jù)采用同一流程進(jìn)行分析和出報(bào)告。無需操作人員干預(yù)即可指定流程操作和測(cè)量點(diǎn)的功能，以最小差異進(jìn)行快速、精確的分析。

2、自動(dòng)定位校準(zhǔn)。所采集數(shù)據(jù)的自動(dòng) XYZθ 調(diào)整可通過預(yù)注冊(cè)參考樣品的特征部位實(shí)現(xiàn)。該功能在使用分析模板重復(fù)檢查相同樣品時(shí)非常有用。

3、定位對(duì)齊功能。在連續(xù)檢測(cè)具有相似形狀的樣品時(shí)，定位對(duì)齊功能可將電動(dòng)載物臺(tái)的坐標(biāo)系設(shè)定與樣品匹配，從而實(shí)現(xiàn)更高效率的檢測(cè)。 該功能可讓您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可獲得所有后續(xù)樣品相同位置的相同數(shù)據(jù)。

4、多區(qū)域數(shù)據(jù)采集。通過利用宏編譯工具創(chuàng)建和編輯宏，可實(shí)現(xiàn)從數(shù)據(jù)采集到測(cè)量及報(bào)告等常規(guī)檢測(cè)流程的自動(dòng)執(zhí)行。之后，操作員所需做的僅為調(diào)用和執(zhí)行現(xiàn)有的宏文件，從而通過一次點(diǎn)擊即可獲得穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。

5、宏功能。從數(shù)據(jù)采集、測(cè)量到報(bào)告創(chuàng)建的檢測(cè)工作流程均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化?？衫煤晟晒ぞ咻p松創(chuàng)建或編輯檢測(cè)流程。操作人員通過運(yùn)行已經(jīng)注冊(cè)的宏文件，僅需簡(jiǎn)單的點(diǎn)擊即可獲得可靠的測(cè)量結(jié)果。

6、支持五種語言的應(yīng)用。應(yīng)用程序支持中文、英文、日文、德文和韓文五種語言。多語言的使用手冊(cè)可讓本地操作人員也可輕松使用該系統(tǒng)。

7、用戶帳戶功能。每位操作員均可使用自己的帳戶登錄到應(yīng)用程序，并使用經(jīng)過自定義的操作環(huán)境。用戶ID將記錄在報(bào)告以及所采集的數(shù)據(jù)中，由此可輕松識(shí)別該數(shù)據(jù)是由何人以及何時(shí)創(chuàng)建或獲取的。管理員還可根據(jù)需要為每位操作員分配相應(yīng)操作權(quán)限范圍及功能。

可檢測(cè)多種樣品

1、擴(kuò)展架。載物臺(tái)上可放置最大高度210毫米的樣品。重復(fù)性和準(zhǔn)確性等測(cè)量性能均確保與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)相同。

2、多種物鏡均可兼容。有十五種物鏡可供選擇，包括針對(duì)405納米波長(zhǎng)設(shè)計(jì)的多個(gè)LEXT專用物鏡，從而讓客戶能夠選出滿足需求和應(yīng)用的一款。透鏡也可在客戶地點(diǎn)進(jìn)行切換。

3、專用LEXT?低倍率及長(zhǎng)工作距離物鏡。我們的專用LEXT物鏡系列近期新增了提升測(cè)量性能的長(zhǎng)工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡。所有專用LEXT物鏡的測(cè)量0性能均可獲得保證。