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鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)
鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)

發(fā)布時間:2018-7-2 13:57:43
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鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)介紹

鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)

它是專門分析測量鋼絲表面粗糙度而量身定制的產(chǎn)品。它是基于強(qiáng)大的圖像處理分析平臺,集圖像采集、圖像處理、測量與分析、 可定制報告為一體,大大提高工作效率。內(nèi)嵌多種功能:EFI、MIA、三維表面顯 示、劃痕去除、顆粒自動尋邊等等功能。

支持鋼絲粗糙度測量的同時,內(nèi)置層深長度測量、相含量分析、顆粒與孔 隙分析軟件包。

鋼絲粗糙度分析系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)的硅片切割線的檢測,同時也可適于用鋼 連線的粗糙度測量。

1、  軟硬件集成一體化系統(tǒng)

本系統(tǒng)是具有圖像采集、圖像處理、自動識別與測量、分析統(tǒng)計、自動生 成報告、外圍硬件控制等功能的一體化的圖像系統(tǒng)。

2、  批量化圖像獲取歸檔

實現(xiàn)“實時預(yù)覽、快速抓拍、疊加標(biāo)尺、信息標(biāo)注、識別測量、分析統(tǒng)計、保存歸檔”檢驗過程的流程化;提供批量拍照、批量標(biāo)注、批量保存、批量合并等多圖批處理功能,讓檢驗過程更加方便。

3、強(qiáng)大的圖像處理、圖像矯正功能

圖像增強(qiáng)、反差調(diào)整、色彩分離、多通道色彩合成、圖像矯正、劃痕污跡 處理;圖像標(biāo)注、圖層合并、圖像數(shù)據(jù)庫;方便的標(biāo)尺工具。

4、  超景深觀察(EFI)

強(qiáng)大的景深擴(kuò)展功能(EFI),突破光學(xué)顯微鏡的景深限制,獲得全視場清晰圖像;解決高倍下鋼絲邊沿的拍照問題。

5、體式偏移校正景深觀察(OffsetEFI)

針對體視鏡的特殊光路,系統(tǒng)自動修正體式成像中的偏移現(xiàn)象,保證景深擴(kuò)展的效果;

6、實時景深擴(kuò)展(LiveEFI)

智能化的實時景深擴(kuò)展功能(LiveEFI),良好的操作體驗;只需要調(diào)節(jié)焦距, 系統(tǒng)自動記錄清晰區(qū)域,自動實現(xiàn)超景深拍照。

7、大視野圖像采集(MIA)

自動圖像拼接功能(MIA),擴(kuò)大顯微鏡的視場限制,獲取平滑過度的大視野圖像;可用于高倍下鋼絲邊沿全貌圖,缺陷分析等等。

8、實時圖像拼接(LiveMIA)

智能化的實時圖像拼接功能(LiveMIA),良好的操作體驗,突破視野限制。只要移動載物臺,系統(tǒng)自動記錄掃描過的區(qū)域,無需拍照,自動獲取大視野圖像。

9、目標(biāo)顆粒自動尋邊(ATE)

根據(jù)顏色差別,自動尋找顆粒邊界;

10、3D表面形貌與3D測量(3D)

3D表面形貌、表面細(xì)節(jié)等多種瀏覽方式(3DSurface);加配AUTOZ模塊可實 現(xiàn)3D測量(3D Measure)。如:3D模式下測量凹槽深度;

11、鋼絲粗糙度分析算法

專為貝卡爾特Bekaert特種鋼絲粗糙度分析方法設(shè)計;高精度粗糙度計算 方法,自動擬合當(dāng)前弧線的曲率半徑,獲取更準(zhǔn)確的粗糙度。同時計算出 Ra、Rz、dp%等多個參數(shù)。支持多段弧測量統(tǒng)計、批量提取、自動形態(tài)學(xué)等功能。

12、粗糙度曲線顯示

可細(xì)致觀察指定范圍粗糙度曲線圖,更直觀、更準(zhǔn)確。

13、支持旋轉(zhuǎn)臺測量和常規(guī)臺拼接測量

支持旋轉(zhuǎn)臺多段弧測量,同時支持常規(guī)臺拼接整個鋼絲表面進(jìn)行測量。整圖測量能反映整個鋼絲相貌,更直觀更準(zhǔn)確。

14、鋼絲粗糙度報告

專門為鋼絲粗糙度檢測定制的報告格式,圖文并茂,可以瀏覽鋼絲一個截 面的分析全貌。同時輸出統(tǒng)計數(shù)據(jù),包括曲率直徑、Rz、Ra、dp%等多個 參數(shù)。

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