半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX4R采用大行程移動工作平臺，長工作距半復(fù)消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項工業(yè)檢測。
穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱。
反射照明器
單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構(gòu)。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
MX4R轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器。
半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX4R標準配置參數(shù)
型號 | MX4R | MX4RT |
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
觀察筒 | 30°鉸鏈式三目，分光比，雙目：三目=100：0或50:50 | |
物鏡 | LMPL無限遠長工作距金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
載物臺 | 4”雙層機械移動平臺，行程105x 105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 | 4”雙層機械移動平臺，行程105x 105mm，帶玻璃平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出 |
反射照明器系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素?zé)?，光強連續(xù)可調(diào)（選擇此組照明器時，應(yīng)使用MX-6R型顯微鏡鏡體） | |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌 |
