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硅片搬送機(jī)又稱晶圓檢查系統(tǒng)，晶圓搬送機(jī)，他是一款對傳輸芯片進(jìn)行顯微鏡檢查的設(shè)備。適用于晶圓前道和后道工藝檢查。以國產(chǎn)舜宇A(yù)WL812硅片搬送機(jī)操作為例。

AWL812硅片搬送機(jī)在操作前，可通過掃碼槍識別不同晶圓盒（如：Open Cassette、Metal Cassette、FOUP/FOSB等），然后再進(jìn)行Notch定位，隨后通過宏觀檢查手臂360°檢查，操控遙感可隨意將晶圓傾斜觀察。如此您可觀察晶圓正面、背面邊緣，背面中間是否有晶圓邊緣缺損，表面劃傷，表面殘留，表面顆粒等問題。接著再通過機(jī)械臂安.全傳輸至光學(xué)顯微鏡微觀觀察，配置的光學(xué)顯微鏡有明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方法，他可以輕松觀察到孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等問題。軟件也會輸出詳細(xì)的數(shù)據(jù)報告，zui終再將晶圓傳送至晶圓盒內(nèi)，這就是國產(chǎn)舜宇A(yù)WL812檢查一片晶圓的流程。在實際應(yīng)用過程中，每道流程都分工合作，緊密相連，且穩(wěn)定高.效。

目前，蘇州匯光科技供應(yīng)的硅片搬送機(jī)有國產(chǎn)舜宇品牌和進(jìn)口奧林巴斯品牌，如下圖：

●進(jìn)口硅片搬送機(jī)

●國產(chǎn)硅片搬送機(jī)

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