紅光濾色顯微鏡-晶圓硅氧化層厚度檢測(cè)

紅光濾色顯微鏡在硅片上超薄硅層厚度測(cè)量的應(yīng)用，適用范圍10μm~1000μm，具有方便、直觀的特點(diǎn)。該設(shè)備采用光學(xué)濾波的原理，經(jīng)腐蝕，通過紅外濾光片顯示出干涉條紋，通過處理后得到黑白相間的圖片效果。

腐蝕后硅片外觀效果圖

普通光學(xué)顯微鏡成像效果

紅光顯微鏡成像效果

經(jīng)處理后得到的成像圖片

測(cè)量結(jié)果

由于涉及諸多知識(shí)產(chǎn)權(quán)，諸多不便請(qǐng)諒解。本文以圖片形式展顯，欲知更多產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我司專業(yè)技術(shù)人員。

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